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发明名称 METALLOXYDIERUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN.
摘要
申请公布号 AT113324(T) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 AT19890909048T 申请日期 1989.08.02
申请人 OSAKA SANSO KOGYO KABUSHIKI-KAISYA;OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO 1-17-301,;SUGIYAMA, KAZUHIKO SANRAIFU-NAGAMACHI;TAIHAKU-KU;NAKAHARA, FUMIO SANKEN-HAITSU-KOIWA;MIZOKAMI, SATOSHI SAIWAI-GARDENMANSION;MIYAGINO-KU
分类号 C23C8/18;C23C8/10;H01L21/31;(IPC1-7):C23C8/10;C23C8/14 主分类号 C23C8/18
代理机构 代理人
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