发明名称 FORMATION OF TANTALUM OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH06316788(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19930104701 申请日期 1993.04.30
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKAMURA YOSHINOBU;AKAGI YOSHIRO
分类号 C23C14/14;C25D11/26;(IPC1-7):C25D11/26 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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