METHODE ZUM PRÄPARIEREN VON SILIZIUMCARBIDOBERFLÄCHEN FÜR KRISTALLWACHSTUM.,申请号AT19900912478T-传众专利搜索

发明名称	METHODE ZUM PRÄPARIEREN VON SILIZIUMCARBIDOBERFLÄCHEN FÜR KRISTALLWACHSTUM.
摘要
申请公布号	AT113758(T)	申请公布日期	1994.11.15
申请号	AT19900912478T	申请日期	1990.08.06
申请人	CREE RESEARCH, INC.	发明人	PALMOUR, JOHN, W.;KONG, HUA-SHUANG;EDMOND, JOHN, A.
分类号	H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/36;H01L21/465;(IPC1-7):H01L21/36	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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