| 发明名称 |
COOLING APPARATUS FOR INTEGRATED CIRCUIT ELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06318656(A) |
申请公布日期 |
1994.11.15 |
| 申请号 |
JP19930105276 |
申请日期 |
1993.05.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI KENJI;KAWASAKI NOBUO;KUWABARA HEIKICHI;NAKAJIMA TADAKATSU;KASAI KENICHI;IDEI AKIO |
| 分类号 |
H01L23/427;(IPC1-7):H01L23/427 |
主分类号 |
H01L23/427 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
