| 发明名称 |
OPEN TUBE TYPE IMPURITY DIFFUSION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06318557(A) |
申请公布日期 |
1994.11.15 |
| 申请号 |
JP19910179522 |
申请日期 |
1991.07.19 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRON CO LTD |
发明人 |
HOU TOUSHIYU;KIN SHIYUNEI |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C8/10;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
