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发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06318443(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19940083762 申请日期 1994.03.31
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 TOIDA HIROSHI;TAMURA HIFUMI;HIDA KAZUMASA;IWAMOTO HIROSHI
分类号 H01J27/22;H01J37/08;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/22
代理机构 代理人
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