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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06318588(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19930077698 申请日期 1993.03.11
申请人 NEC CORP 发明人 HASEGAWA EIJI
分类号 H01L21/205;H01L21/26;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316;H01L29/784 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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