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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0691190(B2)
申请公布日期
1994.11.14
申请号
JP19870190828
申请日期
1987.07.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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