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发明名称 (A) ;AGITATION TYPE BALL MILL AND METHOD FOR ITS OPERATION
摘要
申请公布号 JPH0691191(B2) 申请公布日期 1994.11.14
申请号 JP19870221504 申请日期 1987.09.03
申请人 发明人
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8234;H01L23/50;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/088;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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