发明名称 Fremgangsmåte for samregistrering av halvlederskiver som bearbeides i en eller flere blind-prosessmoduler
摘要
申请公布号 NO944341(D0) 申请公布日期 1994.11.14
申请号 NO19940004341 申请日期 1994.11.14
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 GARDOPEE, GEORGE J.;CLAPIS, PAUL J.;PRUSAK, JOSEPH P.;POULTNEY, SHERMAN K.
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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