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发明名称 A particle flow restrictor for vacuum processing chambers and a method for restricting particle flow
摘要
申请公布号 IL110778(D0) 申请公布日期 1994.11.11
申请号 IL19940110778 申请日期 1994.08.25
申请人 PERSYS TECHNOLOGY LTD. 发明人
分类号 B01D;(IPC1-7):B01D 主分类号 B01D
代理机构 代理人
主权项
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