发明名称 Schwingungsgradmessvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69013118(D1) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 DE19906013118 申请日期 1990.11.02
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KASAHARA, YOICHI, MACHIDA-SHI, TOKYO, JP;KADOTA, HISATSUNE, MACHIDA-SHI, TOKYO, JP;KANEKO, NORIO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 A61C19/04;G01H13/00;G01M7/00;G01M7/02;G01N29/12;(IPC1-7):G01N29/00 主分类号 A61C19/04
代理机构 代理人
主权项
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