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发明名称 Vorrichtung zur Vakuumsniederschlagung und Verfahren zur Herstellung von magnetischem Aufzeichungsträger.
摘要
申请公布号 DE68915076(T2) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 DE19896015076T 申请日期 1989.08.21
申请人 HITACHI MAXELL, LTD., IBARAKI, OSAKA, JP 发明人 NIIMI, HIDEAKI, TSUCHIURA-SHI, JP;MIZUMURA, TETSUO, KITASOMA-GUN IBARAKI-KEN, JP;ISOE, NOBORU, TORIDE-SHI, JP
分类号 C23C14/14;C23C14/30;G11B5/85;H01J37/075;H01J37/305;(IPC1-7):G11B5/85;C23C14/56;H01J37/06;H01J37/317 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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