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发明名称 Magnetic field enhanced sputtering arrangement and vacuum treatment installation therewith
摘要
申请公布号 AU6183194(A) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 AU19940061831 申请日期 1994.05.02
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ROMAN SCHERTLER;WALTER HAAG;PETER KOHLER
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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