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发明名称
Positiv wirkendes lichtempfindliches Gemisch
摘要
申请公布号
DE3603372(C2)
申请公布日期
1994.11.10
申请号
DE19863603372
申请日期
1986.02.05
申请人
MITSUBISHI KASEI CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
MIURA, KONOE, YOKOHAMA, KANAGAWA, JP;OCHIAI, TAMEICHI, SAGAMIHARA, KANAGAWA, JP;KAMEYAMA, YASUHIRO, YOKOHAMA, KANAGAWA, JP
分类号
G03C1/72;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
地址
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