| 摘要 |
<p>Bei einer lithografisch hergestellten Stufenlinse fresnelscher Oberflächenstruktur und einem Verfahren zu ihrer Herstellung besteht die Aufgabe, die hohe potentielle Belichtungsgeschwindigkeit schneller Elektronenstrahlbelichtungsanlagen, die mit variablem rechteckigem Strahlungsquerschnitt arbeiten, in eine hohe Effektivität zur Herstellung von Stufenlinsen fresnelscher Art umzusetzen und dabei die benötigten Datenmengen zu reduzieren. Gemäß der Erfindung werden Strahlungsdosisverteilungen, die Zylinderlinsen entsprechen, übereinanderbelichtet, wobei mindestens eine der Strahlungsdosisverteilungen der einer Fresnel-Zylinderlinse entspricht. Mit der Erfindung ist eine effektive lithografische Herstellung neuartiger Linsenstrukturen mit beliebiger Linsenkrümmung von radial sphärisch bis eliptisch realisierbar.</p> |
