发明名称 Verfahren zum Untereinanderverbinden von elektrischen Dünnschichtkreisen.
摘要
申请公布号 DE68914939(T2) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 DE19896014939T 申请日期 1989.09.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BAUM, THOMAS HALL, SAN JOSE CALIFORNIA 95136, US;COMITA, PAUL BRIAN, MENLO PARK CALIFORNIA 94025, US;JACKSON, ROBERT LLOYD, SAN JOSE CALIFORNIA 95120, US
分类号 H05K3/40;H01L21/70;H05K3/02;H05K3/22;H05K3/46;(IPC1-7):H05K3/22;B23K26/00 主分类号 H05K3/40
代理机构 代理人
主权项
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