发明名称 Hochauflösendes automatisches elektronisches Brennpunktkorrekturuntersystem für Elektronenstrahllithographie.
摘要
申请公布号 DE3889556(T2) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 DE19883889556T 申请日期 1988.01.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 COLLOPY, THOMAS KEVIN, HOPEWELL JUNCTION, NY 12533, US;HAIRE, DONALD FULLER, VERBRANK, NY 12585, US
分类号 H01J37/21;G02B7/28;G03F7/207;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/28 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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