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发明名称 Aufnahmevorrichtung für über einen Transfermechanismus in eine Apparatur einzubringende Proben.
摘要
申请公布号 DE59200590(D1) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 DE19925000590 申请日期 1992.07.31
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE 发明人 WOERDENWEBER, ROGER, DR., W-5162 NIEDERZIER, DE
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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