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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Bauelements.
摘要
申请公布号 DE69013064(D1) 申请公布日期 1994.11.10
申请号 DE19906013064 申请日期 1990.06.11
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 JOSQUIN, WILHELMUS JACOBUS MARIA JOSEPH, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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