VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON GASFÖRMIGEM STICKSTOFFTRIFLUORID.,申请号DE19896016041T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON GASFÖRMIGEM STICKSTOFFTRIFLUORID.
摘要
申请公布号	DE68916041(T2)	申请公布日期	1994.11.10
申请号	DE19896016041T	申请日期	1989.10.09
申请人	MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	HARADA, ISAO, SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI 750, JP;HOKONOHARA, HISASHI, SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI 750, JP;YAMAGUCHI, TOSHIAKI, SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI 750, JP
分类号	C01B9/08;C01B21/083;H01L21/3065;(IPC1-7):C01B21/083	主分类号	C01B9/08
代理机构		代理人
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