| 发明名称 |
Apparatus for preselecting and maintaining a fixed gap between a workpiece and a vacuum seal apparatus in particle beam lithography systems. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0324436(B1) |
申请公布日期 |
1994.11.09 |
| 申请号 |
EP19890100347 |
申请日期 |
1989.01.10 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
YOUNG, LYDIA J.;VENEKLASEN, LEE H. |
| 分类号 |
H01J37/301;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/677;(IPC1-7):H01J37/317;H01L21/31;H01J37/18 |
主分类号 |
H01J37/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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