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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0688873(B2)
申请公布日期
1994.11.09
申请号
JP19880254962
申请日期
1988.10.12
申请人
发明人
分类号
C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02
主分类号
C30B27/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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