Procedure and device for absolute measurements with a laser-interferometer.

摘要

2.1. Bekannte Meßverfahren bzw. Meßanordnungen haben den Nachteil, daß die zur Ermittlung des Meßabstandes erforderliche Messung der Phasenänderung der Interferenzsignale höchstens mit einer Auflösung von etwa 1/10 der Gesamtwellenlänge erfolgt. Diese Auflösung reicht jedoch bei weitem nicht an die mit anderen Methoden erreichbare Auflösung heran. Weiterhin sind aufgrund der fehlenden Kenntnis der Wellenlänge im Anschluß an eine Absolutmessung keine Relativmessungen möglich. 2.2. Dieser Nachteil wird bei dem erfindungsgemäßen Meßverfahren dadurch behoben, daß die Luftwellenlänge des Laserstrahls mittels eines zusätzlich vorgesehenen Regelinterferometers mit einer relativ zur Meßstrecke kurzen Regelstrecke an den Enden jedes Meßzyklusses auf einen bestimmten Wellenlängenwert geregelt und die Luftwellenlänge daraufhin kontinuierlich innerhalb eines bestimmten Wellenlängenintervalls durchgestimmt und auf den Endwert mittels des Regelinterferometers geregelt wird, wobei während der Wellenlängenmodulation die Phasenänderung des Interferenzsignals kontinuierlich detektiert wird. Aus den gemessenen Wellenlängen und der Phasenverschiebung läßt sich über eine einfache mathematische Beziehung die Meßstrecke ermitteln. Der Anschluß der Meßunsicherheit dieses Verfahrens an die der herkömmlichen Interferometer kann durch Verwendung eines weiteren Lasers mit mindestens einer weiteren diskreten Wellenlänge durch Erzeugung einer Schwebungswellenlänge erreicht werden, die größer als die Meßunsicherheit aufgrund der kontinuierlichen Durchstimmung der Wellenlänge sein muß. Weiterhin sind mit diesem Verfahren im Anschluß an eine Absolutmessung Relativmessungen möglich. 2.3. Das Meßverfahren sowie die Laserinterferometeranordnung eignen sich insbesondere für absolute Abstandsmessungen. <IMAGE>