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发明名称 ANTIREFLECTION COATING
摘要
申请公布号 JPH06313968(A) 申请公布日期 1994.11.08
申请号 JP19930196996 申请日期 1993.07.14
申请人 BURIYUUWAA SCI INC 发明人 JIYON DABURIYUU AANORUDO;TERII ERU BURIYUUWAA;SUMARII PUNYAKUMURIAADO
分类号 G03F7/004;G02B1/10;G02B1/11;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/26;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/11 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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