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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH06314669(A)
申请公布日期
1994.11.08
申请号
JP19930123081
申请日期
1993.04.28
申请人
SONY CORP
发明人
YANAGIDA TOSHIHARU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/320
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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