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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06314782(A) 申请公布日期 1994.11.08
申请号 JP19930125492 申请日期 1993.04.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 INOUE HIROYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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