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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE DIFFUSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06310452(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930120500 申请日期 1993.04.23
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAGAWA TAKAYUKI
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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