发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06310716(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930095842 申请日期 1993.04.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MIYAJIMA AKIO;MORITA KIYOYUKI
分类号 H01L21/266;H01L21/768;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/90;H01L29/50 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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