发明名称 ANODIC FORMATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH06310488(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930122077 申请日期 1993.04.27
申请人 CANON INC 发明人 OKITA AKIRA
分类号 H01L21/3063;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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