| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEASURING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06310583(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930121930 |
申请日期 |
1993.04.26 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TOSAKA TSUGIO;MARUNO SHIGEKI |
| 分类号 |
G01R31/26;G06F9/06;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
