MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE,申请号JP19930099190-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06310659(A)	申请公布日期	1994.11.04
申请号	JP19930099190	申请日期	1993.04.26
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	KAJIYAMA MASAOKI
分类号	H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/04	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
主权项
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