发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06310713(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930119035 申请日期 1993.04.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAMIJO HIROYUKI
分类号 H01L21/82;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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