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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH06310446(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930122116 申请日期 1993.04.27
申请人 SONY CORP 发明人 SAITO MASAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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