发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06310448(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930119156 申请日期 1993.04.21
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IMAHASHI KAZUNARI
分类号 H01L21/205;C30B31/12;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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