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发明名称 AGENT FOR FORMING FINE PATTERN OF FERROELECTRIC SUBSTANCE THIN FILM AND FORMATION OF FINE PATTERN OF FERROELECTRIC SUBSTANCE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06308721(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930099997 申请日期 1993.04.27
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KANZAWA AKIRA
分类号 C04B41/00;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/8247;H01L27/10;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C04B41/00
代理机构 代理人
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