FOREIGN MATTER ANALYZER,申请号JP19930095840-传众专利搜索

发明名称	FOREIGN MATTER ANALYZER
摘要
申请公布号	JPH06308039(A)	申请公布日期	1994.11.04
申请号	JP19930095840	申请日期	1993.04.22
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	IWAI HIRONAO
分类号	G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01J37/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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