| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING DISTANCE BETWEEN REACTION SUSTAINING ELECTRODES IN REACTION CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06310447(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19940025291 |
申请日期 |
1994.02.23 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
TEINA JIEEN KOTSUTSURAA;JIYON KAATO FUOOSUTAA;ROORENSU ANDORIYUU ROTSUPU;YOSHI SHIN |
| 分类号 |
C30B25/12;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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