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发明名称 MEASURING METHOD FOR TEMPERATURE OF SEMICONDUCTOR WAFER AND SEMICONDUCTOR WAFER WITH TEMPERATURE MEASURING MEANS
摘要
申请公布号 JPH06310580(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930117779 申请日期 1993.04.20
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KANEDA TETSUYA
分类号 G01K1/14;G01K7/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01K1/14
代理机构 代理人
主权项
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