发明名称 OUTPUT STABILIZING METHOD FOR ULTRAVIOLET LASER LIGHT AND ULTRAVIOLET LASER LIGHT GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH06310794(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930101309 申请日期 1993.04.27
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 NISHIZAWA DAIJI;UDAGAWA TAKESHI
分类号 G02F1/37;H01S3/109;H01S3/11;H01S3/13;(IPC1-7):H01S3/109 主分类号 G02F1/37
代理机构 代理人
主权项
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