发明名称 |
OUTPUT STABILIZING METHOD FOR ULTRAVIOLET LASER LIGHT AND ULTRAVIOLET LASER LIGHT GENERATOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06310794(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
申请号 |
JP19930101309 |
申请日期 |
1993.04.27 |
申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
NISHIZAWA DAIJI;UDAGAWA TAKESHI |
分类号 |
G02F1/37;H01S3/109;H01S3/11;H01S3/13;(IPC1-7):H01S3/109 |
主分类号 |
G02F1/37 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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