发明名称 METHOD OF FORMING ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06310542(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930123477 申请日期 1993.04.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KOIKE KENICHI;NAKAJIMA SHIGERU
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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