| 发明名称 |
FLATTENING METHOD FOR THIN-FILM STEP ON TRANSPARENT SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06310472(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930094573 |
申请日期 |
1993.04.21 |
| 申请人 |
ROHM CO LTD |
发明人 |
TAKAMURA MAKOTO;MORIWAKE MASATO;NISHI TAKASHI;NAMITA TOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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