发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06310525(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930097877 申请日期 1993.04.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KINOSHITA YASUSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址