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发明名称 COATING METHOD FOR PROBE NEEDLE
摘要
申请公布号 JPH06308160(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930123335 申请日期 1993.04.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 NAGASAWA YASUSHI;YAMASHITA SATORU
分类号 G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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