发明名称 |
GRINDING METHOD FOR REAR OF SEMICONDUCTOR WAFER AND PROTECTIVE TAPE APPLICATING MACHINE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06310480(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
申请号 |
JP19930101326 |
申请日期 |
1993.04.27 |
申请人 |
FUJI FILM MICRO DEVICE KK;FUJI PHOTO FILM CO LTD |
发明人 |
NISHIDA JOJI;YASUMATSU MASATOSHI;OKAMOTO CHIAKI |
分类号 |
B24B7/22;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B7/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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