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发明名称 FOCUSING ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06310077(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930094095 申请日期 1993.04.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMOTO HIROSHI
分类号 H01J37/22;G01Q30/02;G01Q60/10;H01J37/30;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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