| 摘要 |
<P>La présente invention concerne une paire de masques (1) destinés à l'insolation de la surface supérieure et de la surface inférieure d'une plaquette de silicium. Chaque masque comporte, en dehors de sa surface utile (5) correspondant à la surface de la plaquette de silicium des mires identiques ou complémentaires (30, 31).</P> |
