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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06310654(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930123515 申请日期 1993.04.27
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 NAGANUMA TAKESHI
分类号 H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04;H01L29/784 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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