| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06310605(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930094034 |
申请日期 |
1993.04.21 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MURAKAMI TOMOYASU;YANO KOSAKU;UEDA TETSUYA |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
