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发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06310072(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930097359 申请日期 1993.04.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAGEYAMA KASHIO;YAMADA OSAMU
分类号 H01J37/22;H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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